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FFU(FanFilterUnit)，是一個自帶送風機(無殼風機)的高效過濾器送風口，它與其專用龍骨系統(tǒng)(CeilingGrid)、冷卻盤管(一般為干盤管)、加壓風機、新風系統(tǒng)以及專用燈具共同組成了FFU系統(tǒng)。FFU的使用方式是新風有新風空調機處理至所需狀態(tài)點后送入,在靜壓箱內與回風混合后經FFU的風機加壓后經HEpA或ULpA送入室內,再經架空地板或側墻回至干盤管,在此經冷(熱)處理后經由回壓機送回至靜壓箱完成循環(huán)。這樣的系統(tǒng)**為常用于有超靜要求的潔凈室，如大型集成電路晶圓的制造、尖端顯示器如TFT、pDp等的制造、硬盤的制造等。

其優(yōu)點如下：

1、系統(tǒng)非常靈活，可隨時調整

因潔凈室的壁板都以口板格子的模數(如1200*600)來布置，并且由于其特殊的節(jié)點構造，潔凈室的壁板可以隨時調整位置，以此改變房間的布局。同時如果房間的潔凈度需要調整，可以通過增減FFU數量的方法來實現(xiàn)。這對于通常集中送風的凈化系統(tǒng)來說幾乎是不可能的。

2、出風均勻穩(wěn)定

FFU因自帶風機，出風均勻而穩(wěn)定。避免了集中送風系統(tǒng)各送風口風量平衡的問題。對于垂直單向流潔凈室尤為有利。

3、節(jié)能顯著

FFU系統(tǒng)風管很少，除新風以風管送達外，大量的回風以小循環(huán)的方式在運行，因此大大減少了風管的阻力消耗。同時由于FFU的面風速一般為0.35~0.45m/s,過濾器阻力小,FFU的無殼風機功率很小,新型的FFU采用了率電動機,同時對風機葉輪形狀也進行了改進,其綜合效率以大為提高。據筆者估算，F(xiàn)FU系統(tǒng)一般可比集中送風的凈化系統(tǒng)節(jié)能30%以上，使FFU系統(tǒng)在二、三年內就可通過節(jié)省電費把增加的初投資部分(與集中送風的凈化系統(tǒng)相比)省回來。

4、節(jié)省空間

因省去了**的送回風管，故可節(jié)省安裝空間。對于層高緊張的改建項目非常合適。帶來的另一個好處因風管很少空間相對寬敞而使工期縮短。

5、風口、燈具、煙感、噴淋、靜電中和器等的合理布局

這些潔凈室常用裝置都在上有各自的安裝口板格子位置，既合理又美觀。而在集中送風的凈化系統(tǒng)里這些裝置的布局經常沖突，吊頂顯得擁擠不堪。

6、負壓密封

FFU送風系統(tǒng)的靜壓箱為負壓，因此即使風口安裝存在泄漏，也是從潔凈室向靜壓箱泄漏，不會形成對潔凈室的污染。

FFU系統(tǒng)也有缺點：風機數量大，故障機率大。且因FFU布置在吊頂上，維修有一定困難。而集中風系統(tǒng)因設備較為集中，數量也少，易于維護。但這也不**是缺點：FFU系統(tǒng)正是因為數量眾多而分散，通常少量的FFU出現(xiàn)故障，并不能對潔凈度造成嚴重的破壞。甚至可以在對潔凈度幾乎沒有影響的情況下發(fā)現(xiàn)并修復故障單元。而集中送風系統(tǒng)只要一臺AHU出現(xiàn)故障，就會造成大面積的潔凈室停止運行，對生產的影響很大。在幾乎所有的項目中，冷凍機、空壓機、純水設備、水泵、真空泵搶救無效都可以做到備份，盡量減少設備故障對生活的影響。唯獨空調箱的備份幾乎沒用。FFU系統(tǒng)則在某種程度上達到了這個目的。